วอฟเฟอร์ หรืออีกชื่อหนึ่งคือ วอฟเฟอร์ครึ่งตัวนํา หรือวอฟเฟอร์ซิลิคอน เป็นวัสดุพื้นฐานหนึ่งที่ใช้กันอย่างแพร่หลายในอุตสาหกรรมครึ่งตัวนําการอบอุ่นแผ่นแผ่นเป็นขั้นตอนที่สําคัญในกระบวนการผลิตครึ่งตัวนํา, มีวัตถุประสงค์ในการดําเนินการรักษาความร้อนที่จําเป็นบนแผ่นในระหว่างการผลิตวงจรบูรณาการและอุปกรณ์ครึ่งประสาทอื่น ๆทําให้วัสดุทํางาน, ปรับรูปร่าง, เสริมโครงสร้างวัสดุ, และรับประกันความบริสุทธิ์พื้นผิวและคุณภาพของกระดาษซิลิคอนโวฟเฟอร์โดยทั่วไปต้องถูกทําความร้อนอย่างเท่าเทียมกันถึงอุณหภูมิที่กําหนดไว้ เพื่อให้มันสามารถทํางานได้ดีขึ้นในการใช้งานต่างๆ, ทําให้สะดวกขึ้นหรือปรับปรุงขั้นตอนกระบวนการต่อมา
การทําความร้อนเป็นหนึ่งในขั้นตอนที่สําคัญที่สุดในกระบวนการผลิตแผ่นซิลิคอน ซึ่งมีหลายขั้นตอนในกระบวนการ โดยทั่วไปรวมถึงด้านต่อไปนี้
ระหว่างกระบวนการอบอุ่นแผ่น, มันจําเป็นต้องมีการกระจายอุณหภูมิบนพื้นผิวของแผ่นเป็นแบบเรียบร้อยเท่าที่จะทําได้เพื่อให้การทํางานของอุปกรณ์คงที่ทั่วแผ่นทั้งหมด.การกระจายอุณหภูมิที่ไม่เท่าเทียมกันอาจส่งผลให้มีความแตกต่างในการทํางานของอุปกรณ์และส่งผลต่อคุณภาพของผลิตภัณฑ์โดยใช้เรดิเอเตอร์อินฟราเรดสําหรับการทําความร้อน แสงจะถูกเน้นกับโวฟเวอร์และร้อนเร็วถึงอุณหภูมิที่ต้องการ ซึ่งอาจใช้เวลาเพียงไม่กี่วินาทีถึงสิบวินาทีการตอบสนองอย่างรวดเร็วและปรับพลังงานการทําความร้อนเพื่อลดการเกินอุณหภูมิหรือความไม่เพียงพอ, ป้องกันอัตราการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิที่อาจทําให้เกิดปัญหาในกระบวนการได้อย่างมีประสิทธิภาพ, ทําให้พื้นผิวที่ทําความร้อนได้รับพลังงานรังสีอินฟราเรดเฉลี่ยและการลดปัญหาคุณภาพกระบวนการที่ไม่ดีที่เกิดจากอุณหภูมิที่ไม่เท่ากัน.
เมื่อเทียบกับวิธีทําความร้อนแบบดั้งเดิม เครื่องทําความร้อนอินฟราเรดมีข้อดีสําคัญดังต่อไปนี้
